資料介紹
集成電路用半導體材料是集成電路、半導體器件制造的基礎材料,是一種十分敏感的戰(zhàn)略性資源.集成電路用半導體材料智能制造應用研究就是在電子級多晶硅生產(chǎn)線的基礎上,針對智能制造在多晶硅生產(chǎn)、經(jīng)營流程中的具體應用進行研究,構建一套全面的生產(chǎn)過程信息管理系統(tǒng),具備高度數(shù)字化、可視化、模型化、集成化和智能化,實現(xiàn)各層面的業(yè)務協(xié)同,提高企業(yè)的預測預警能力,保證生產(chǎn)安全和環(huán)保,實現(xiàn)設備自動化、人員鬲效化、管理信息化。提高產(chǎn)品的穩(wěn)定性,達到集成電路用電子級高純多晶硅的穩(wěn)定產(chǎn)出的目的,為國家集成電路產(chǎn)業(yè)原材料提供戰(zhàn)略保障。
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