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讀出電路位于微傳感器系統信號通路的最前端，是決定系統性能的關鍵因素。本文針對音叉式體硅微陀螺的具體應用，提出了一種低噪聲電容讀出電路，芯片采用斬波技術降低了電路的低頻1/f 噪聲、失調電壓以及參考電壓失配的影響，提高了讀出電路的分辨率和動態范圍；提出一種噪聲電荷轉移的分析方法，用于分析和預測讀出電路的噪聲性能；建立一種簡化的微陀螺傳感器仿真模型，用于模擬讀出電路對微傳感器的響應。讀出電路在0.35μm 2P4 M 標準CMOS 工藝下設計流片，并與微傳感器進行了聯合應用，芯片面積為2×2.5 mm2，在5 V 電源電壓，100 kHz 的時鐘頻率下，實現了4 aF/ Hz的電容分辨率和94 dB 的動態范圍。
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