電子發燒友App
創作
發文章
發帖 
提問 
發資料
發視頻資料介紹
針對微電子機械系統中平行板間的氣膜阻尼問題，通過將平板沿垂直方向的位移運動方程展開為傅里葉級數，得到了微平面機構所受的空氣阻尼力和阻尼系數的解析公式。結果表明，空氣阻尼系數近似與兩平板間氣隙厚度的三次方成反比。通過對微加速度開關質量塊工作時所受的空氣阻尼進行仿真分析，得出該開關的阻尼系數在工作過程中為變阻尼的結論，并分析了空氣阻尼系數對于開關性能的影響。
關 鍵 詞 傅里葉級數; 空氣阻尼; 微加速度開關; 微機電系統
微機電系統[1-2](Micro Electro-Mechanical System，MEMS)器件中廣泛使用了沿垂直方向做相對運動的微平面機構，如微加速度計[3]、微開關[4]等，這類器件中運動構件和基板襯底間空氣氣膜的擠壓阻尼效應顯著，因此，在設計含有微平面機構的MEMS機構時，建立有效的空氣阻尼分析計算模型十分關鍵。
一般運動平板空氣阻尼力采用經典流體潤滑方程——雷諾方程進行計算。文獻[5-6]曾經給出過平板作微震動時空氣阻尼的解析模型，基于以上模型，文獻[7-8]分別給出了作微震動矩形平板所受空氣阻尼力的解析計算公式。但上述公式無法求解一般運動狀態下平板受到的空氣阻尼力；另外，采用數值計算方法，如有限元方法等可以有效求解平板所受的空氣阻尼力[9]，但是計算量極大，對于設計和動態仿真復雜的MEMS系統并不適用。因此有必要找
到一種較為簡單有效的方法，用以計算微平面機構在一般運動狀態下的空氣阻尼問題。
本文證明了運動平板所受到的總阻尼力等于各頻率成分的運動單獨作用下板受到的阻尼力的疊加。根據該原理可以計算任意運動狀態的矩形平板所受空氣阻尼力。
1 阻尼力的計算原理
1.1 阻尼力的計算
圖1、2所示分別為矩形平行板運動示意圖及其壓強分布狀態圖。
下載該資料的人也在下載
下載該資料的人還在閱讀
更多 >
- 高精度六軸MEMS運動跟蹤TM器件ICM-42688-P 數據表 0次下載
- 高性能六軸MEMS運動跟蹤裝置ICM-20602 14次下載
- MEMS陀螺儀姿態算法研究綜述 39次下載
- 溫度和風速對橋梁結構模態頻率和阻尼比的影響研究 0次下載
- 同位阻尼磁軸承特性研究 1次下載
- 基于柔性直流阻尼控制器與附加勵磁阻尼控制器協同抑制次同步振蕩研究 2次下載
- MEMS器件中多層金屬薄膜濺射工藝研究 0次下載
- 電容器過電壓阻尼裝置參數的設計研究 9次下載
- 基于熔焊的MEMS真空封裝研究
- RF MEMS壓控振蕩器及相位噪聲特性的研究
- 適用于車輛的旋轉式磁流變阻尼器研究
- 無阻尼繞組式感應同步電機做步進運動狀態時的動態仿真
- MEMS降階宏模型仿真平臺研究
- MEMS器件縮減模型建模方法研究
- AZ91D鎂合金阻尼性能的研究
- 阻尼系數對系統受迫振動特性的影響 295次閱讀
- 提高系統的阻尼比對系統有何影響 314次閱讀
- 過阻尼系統的動態性能指標有哪些 298次閱讀
- 阻尼器的原理和作用 阻尼器怎么調節松緊 7180次閱讀
- 阻尼電阻燒毀的原因_阻尼電阻型號 2839次閱讀
- 什么是阻尼電阻_阻尼電阻的作用是什么 1.3w次閱讀
- 阻尼器是什么_阻尼器分類 1.8w次閱讀
- 基于射頻開關器件的金屬連線間形成空氣隙的改進工藝研究 4987次閱讀
- MEMS慣性器件典型失效模式及失效機理研究 7636次閱讀
- 通過研究可調諧光濾波器來探討FEA的準備工作 5167次閱讀
- 如何利用Tanner MEMS參數化基本單元庫，迅速創建復雜的表面微加工或流體MEMS器件 5047次閱讀
- 智能手機中的MEMS器件 助推MEMS傳感器市場快速增長 1669次閱讀
- MEMS封裝技術進行探討研究與MEMS器件封裝優勢 1.1w次閱讀
- 日立新型MEMS加速度計比商用MEMS加速度計靈敏度跟高，且功耗降低50％ 5615次閱讀
- 基于MEMS技術的微波濾波器研究進展 8252次閱讀
上傳資料賺積分下載排行
本周
- 1電子電路原理第七版PDF電子教材免費下載
- 0.00 MB | 1490次下載 | 免費
- 2單片機典型實例介紹
- 18.19 MB | 93次下載 | 1 積分
- 3S7-200PLC編程實例詳細資料
- 1.17 MB | 27次下載 | 1 積分
- 4筆記本電腦主板的元件識別和講解說明
- 4.28 MB | 18次下載 | 4 積分
- 5開關電源原理及各功能電路詳解
- 0.38 MB | 11次下載 | 免費
- 6100W短波放大電路圖
- 0.05 MB | 4次下載 | 3 積分
- 7基于AT89C2051/4051單片機編程器的實驗
- 0.11 MB | 4次下載 | 免費
- 8基于單片機的紅外風扇遙控
- 0.23 MB | 3次下載 | 免費
本月
- 1OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234313次下載 | 免費
- 2PADS 9.0 2009最新版 -下載
- 0.00 MB | 66304次下載 | 免費
- 3protel99下載protel99軟件下載(中文版)
- 0.00 MB | 51209次下載 | 免費
- 4LabView 8.0 專業版下載 (3CD完整版)
- 0.00 MB | 51043次下載 | 免費
- 5555集成電路應用800例(新編版)
- 0.00 MB | 33562次下載 | 免費
- 6接口電路圖大全
- 未知 | 30320次下載 | 免費
- 7Multisim 10下載Multisim 10 中文版
- 0.00 MB | 28588次下載 | 免費
- 8開關電源設計實例指南
- 未知 | 21539次下載 | 免費
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935053次下載 | 免費
- 2protel99se軟件下載(可英文版轉中文版)
- 78.1 MB | 537791次下載 | 免費
- 3MATLAB 7.1 下載 (含軟件介紹)
- 未知 | 420026次下載 | 免費
- 4OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234313次下載 | 免費
- 5Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233046次下載 | 免費
- 6電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
- 340992 | 191183次下載 | 免費
- 7十天學會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183277次下載 | 免費
- 8proe5.0野火版下載(中文版免費下載)
- 未知 | 138039次下載 | 免費
工商網監
評論