電子發燒友App
創作
發文章
發帖 
提問 
發資料
發視頻資料介紹
針對微電子機械系統中平行板間的氣膜阻尼問題，通過將平板沿垂直方向的位移運動方程展開為傅里葉級數，得到了微平面機構所受的空氣阻尼力和阻尼系數的解析公式。結果表明，空氣阻尼系數近似與兩平板間氣隙厚度的三次方成反比。通過對微加速度開關質量塊工作時所受的空氣阻尼進行仿真分析，得出該開關的阻尼系數在工作過程中為變阻尼的結論，并分析了空氣阻尼系數對于開關性能的影響。
關 鍵 詞 傅里葉級數; 空氣阻尼; 微加速度開關; 微機電系統
微機電系統[1-2](Micro Electro-Mechanical System，MEMS)器件中廣泛使用了沿垂直方向做相對運動的微平面機構，如微加速度計[3]、微開關[4]等，這類器件中運動構件和基板襯底間空氣氣膜的擠壓阻尼效應顯著，因此，在設計含有微平面機構的MEMS機構時，建立有效的空氣阻尼分析計算模型十分關鍵。
一般運動平板空氣阻尼力采用經典流體潤滑方程——雷諾方程進行計算。文獻[5-6]曾經給出過平板作微震動時空氣阻尼的解析模型，基于以上模型，文獻[7-8]分別給出了作微震動矩形平板所受空氣阻尼力的解析計算公式。但上述公式無法求解一般運動狀態下平板受到的空氣阻尼力；另外，采用數值計算方法，如有限元方法等可以有效求解平板所受的空氣阻尼力[9]，但是計算量極大，對于設計和動態仿真復雜的MEMS系統并不適用。因此有必要找
到一種較為簡單有效的方法，用以計算微平面機構在一般運動狀態下的空氣阻尼問題。
本文證明了運動平板所受到的總阻尼力等于各頻率成分的運動單獨作用下板受到的阻尼力的疊加。根據該原理可以計算任意運動狀態的矩形平板所受空氣阻尼力。
1 阻尼力的計算原理
1.1 阻尼力的計算
圖1、2所示分別為矩形平行板運動示意圖及其壓強分布狀態圖。
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。 举报投诉
- 高精度六轴MEMS运动跟踪TM器件ICM-42688-P 数据表9次下载
- 高性能六轴MEMS运动跟踪装置ICM-2060214次下载
- MEMS陀螺仪姿态算法研究综述39次下载
- 温度和风速对桥梁结构模态频率和阻尼比的影响研究0次下载
- 同位阻尼磁轴承特性研究1次下载
- 基于柔性直流阻尼控制器与附加励磁阻尼控制器协同抑制次同步振荡研究2次下载
- MEMS器件中多层金属薄膜溅射工艺研究0次下载
- 电容器过电压阻尼装置参数的设计研究9次下载
- 基于熔焊的MEMS真空封装研究39次下载
- RF MEMS压控振荡器及相位噪声特性的研究19次下载
- 适用于车辆的旋转式磁流变阻尼器研究14次下载
- 无阻尼绕组式感应同步电机做步进运动状态时的动态仿真26次下载
- MEMS降阶宏模型仿真平台研究14次下载
- MEMS器件缩减模型建模方法研究17次下载
- AZ91D镁合金阻尼性能的研究30次下载
- 阻尼系数对系统受迫振动特性的影响3811次阅读
- 提高系统的阻尼比对系统有何影响7462次阅读
- 过阻尼系统的动态性能指标有哪些2433次阅读
- 阻尼器的原理和作用 阻尼器怎么调节松紧11522次阅读
- 阻尼电阻烧毁的原因_阻尼电阻型号3205次阅读
- 什么是阻尼电阻_阻尼电阻的作用是什么14732次阅读
- 阻尼器是什么_阻尼器分类19976次阅读
- 基于射频开关器件的金属连线间形成空气隙的改进工艺研究5669次阅读
- MEMS惯性器件典型失效模式及失效机理研究8523次阅读
- 通过研究可调谐光滤波器来探讨FEA的准备工作5522次阅读
- 如何利用Tanner MEMS参数化基本单元库，迅速创建复杂的表面微加工或流体MEMS器件5636次阅读
- 智能手机中的MEMS器件 助推MEMS传感器市场快速增长1853次阅读
- MEMS封装技术进行探讨研究与MEMS器件封装优势12516次阅读
- 日立新型MEMS加速度计比商用MEMS加速度计灵敏度跟高，且功耗降低50％5974次阅读
- 基于MEMS技术的微波滤波器研究进展9206次阅读
上傳資料賺積分下載排行
本周
- 1電子電路原理第七版PDF電子教材免費下載
- 0.00 MB | 1490次下載 | 免費
- 2單片機典型實例介紹
- 18.19 MB | 93次下載 | 1 積分
- 3S7-200PLC編程實例詳細資料
- 1.17 MB | 27次下載 | 1 積分
- 4筆記本電腦主板的元件識別和講解說明
- 4.28 MB | 18次下載 | 4 積分
- 5開關電源原理及各功能電路詳解
- 0.38 MB | 11次下載 | 免費
- 6100W短波放大電路圖
- 0.05 MB | 4次下載 | 3 積分
- 7基于AT89C2051/4051單片機編程器的實驗
- 0.11 MB | 4次下載 | 免費
- 8基于單片機的紅外風扇遙控
- 0.23 MB | 3次下載 | 免費
本月
- 1OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234313次下載 | 免費
- 2PADS 9.0 2009最新版 -下載
- 0.00 MB | 66304次下載 | 免費
- 3protel99下載protel99軟件下載(中文版)
- 0.00 MB | 51209次下載 | 免費
- 4LabView 8.0 專業版下載 (3CD完整版)
- 0.00 MB | 51043次下載 | 免費
- 5555集成電路應用800例(新編版)
- 0.00 MB | 33562次下載 | 免費
- 6接口電路圖大全
- 未知 | 30320次下載 | 免費
- 7Multisim 10下載Multisim 10 中文版
- 0.00 MB | 28588次下載 | 免費
- 8開關電源設計實例指南
- 未知 | 21539次下載 | 免費
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935053次下載 | 免費
- 2protel99se軟件下載(可英文版轉中文版)
- 78.1 MB | 537791次下載 | 免費
- 3MATLAB 7.1 下載 (含軟件介紹)
- 未知 | 420026次下載 | 免費
- 4OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234313次下載 | 免費
- 5Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233046次下載 | 免費
- 6電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
- 340992 | 191183次下載 | 免費
- 7十天學會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183277次下載 | 免費
- 8proe5.0野火版下載(中文版免費下載)
- 未知 | 138039次下載 | 免費
工商網監
評論