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摘要：論述了銅互連取代鋁互連的主要考慮，介紹了銅及其合金的淀積、銅圖形化方法、以及銅與低介電常教材料的集成等。綜述了ULSI片內(nèi)銅互連技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀。
關(guān)鍵詞；集成電路；銅互連；銅淀積；銅圖形化；ULSI
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