低成本傳感器的應(yīng)用是小型飛行器迅速發(fā)展的現(xiàn)實(shí)要求，將MEMS傳感器技術(shù)結(jié)合飛行器應(yīng)用是一個全新的前沿發(fā)展方向；對電容式硅微加速度計(jì)在小型飛行器上的應(yīng)用進(jìn)行了研究，提出此類加速度計(jì)存在輸出不完全的問題，創(chuàng)新性的給出重力補(bǔ)償解決方法；通過分析加速度計(jì)的誤差，并做靜態(tài)實(shí)驗(yàn)以修正，推導(dǎo)了加速度計(jì)的工作函數(shù)；最后由振動實(shí)驗(yàn)，證明在小機(jī)動飛行狀況下，電容式硅微加速度計(jì)能夠滿足小型飛行器的控制要求。
加速度計(jì)在飛行器上的應(yīng)用一直是航空領(lǐng)域的重要內(nèi)容。目前隨著小型無人機(jī)、靶機(jī)、航模等小型飛行器的發(fā)展，傳統(tǒng)的加速度計(jì)由于費(fèi)用過高而較難應(yīng)用，急需一種既能夠滿足小型飛行器控制要求同時費(fèi)用又比較低廉的加速度計(jì)來測量加速度值。隨著MEMS (微機(jī)電系統(tǒng))這一新興技術(shù)的發(fā)展，將采用了微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的電容式硅微加速度計(jì)應(yīng)用到小型飛行器上的條件變得成熟起來。最早的電容式硅微加速度計(jì)的研制見于Cole(1991)，現(xiàn)在美國AD公司的AD系列硅微加速度計(jì)的研制處于領(lǐng)先地位，在車輛運(yùn)動控制、飛機(jī)導(dǎo)航、物理勘測等方面應(yīng)甩廣泛。目前國內(nèi)的研究集中在加速度計(jì)的敏感部件且未達(dá)到工程實(shí)用階段，缺乏可靠性數(shù)據(jù)，工程應(yīng)用起步較晚[1]。本文通過分析電容式硅微加速度計(jì)的工作原理，結(jié)合AD公司的ADXL2O3加速度計(jì)研究在小型飛行器上的應(yīng)用，分析誤差并作處理。通過靜態(tài)及振動實(shí)驗(yàn)，對電容式硅微加速度計(jì)在小型飛行器上的應(yīng)用給出結(jié)論，并提出在加速度計(jì)研制過程中需要注意的方面。