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DRT MC SOI LIGBT器件新結構的可實現性初探

2010-02-22 | rar | 283 | 次下載 | 3積分

資料介紹

DRT MC SOI LIGBT器件新結構的可實現性初探

本文在介紹了減薄漂移區多溝道SOI LIGBT結構雛形之后,首先初步探討了這種器件的先進VLSI工藝可實現性;然后比較深入討論了減薄漂移區的工藝可實現性和與漂移區厚度相關的漂移區新結構可實現性;接著指出了這種器件雛形結構存在的幾個主要問題,有針對性的分析了改進措施,并提出了同心圓環源漏互包SOI LIGBT新結構。

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