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Ultra-Thin Body SOI MOSFET交流特性分析

2011-12-08 | pdf | 246 KB | 次下載 | 免費(fèi)

資料介紹

詳細(xì)分析了UTB 結(jié)構(gòu)的交流特性. 通過分析UTB SOI 器件的硅膜厚度、側(cè)墻寬度等結(jié)構(gòu)參數(shù)對器件交流特性的影響,對器件結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化. 最終針對UTB SOI MOSFET結(jié)構(gòu)提出了一種緩解速度和功耗特性優(yōu)化之間矛盾的方法,從而實(shí)現(xiàn)了結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化選取,使UTB SOI MOSFET器件的應(yīng)用空間更為廣泛.

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