資料介紹
摘要:應用X射線衍射儀的薄膜附件對熱絲化學氣相沉積金剛石厚膜的成核面和生長面進行分析,結果表明,金剛石厚膜的晶格常數從生長面到形核面沿深度方向是逐漸變小的。化學氣相沉積金剛石初期生長的晶體存在大量的空位等缺陷,晶格松弛,在金剛石膜持續生長過程中,形核面和膜內部在高溫下發生長時間的自退火,缺陷濃度下降,晶格松弛現象消除,晶格常數變小并趨于理論值。試驗表明,經長時間高溫自退火的金剛石厚膜比薄膜具有更高的耐磨性。
關鍵詞:CVD金剛石膜;X射線衍射;晶格松弛;自退火;耐磨性能
化學氣相沉積(CVD)金剛石厚膜具有廣闊的應用前景,如用作機械加工刀具、電子封裝熱沉材料、光學窗口材料等[1]。但沉積金剛石過程中會產生大量缺陷,導致CVD金剛石膜性能下降[2],這些缺陷包括雜質、空位等,它們在微觀上表現為晶格常數的變化。本文應用X射線衍射儀分析了熱絲CVD法沉積的金剛石厚膜晶格常數的變化規律,采用晶格松弛的觀點解釋不同厚度金剛石膜的性能差異。
- 如何才能生成金剛石散熱片和CVD金剛石散熱的應用介紹
- 金剛石壓機壓力誤差補償的PID控制研究 0次下載
- 金剛石散熱片的生成方法及在微波射頻領域的應用解析 0次下載
- 金剛石壓機智能控制系統電路設計方案 0次下載
- 基于W77E58的金剛石壓機測控系統設計
- 壓阻式金剛石壓力傳感器的優化設計
- 人造金剛石壓機嵌入式控制系統設計An Embedded Control System f
- 基于IPC 與PLC 相結合的金剛石合成機控制系統的研制
- P摻雜類金剛石薄膜的制備及生物學行為研究
- 乙醇對金剛石膜生長特性的影響
- 負偏壓增強金剛石膜與襯底結合強度的理論研究
- 氮氣流量對金剛石膜生長的影響研究
- 真空電弧離子鍍膜方法沉積類金剛石膜在PMMA樹脂義齒表面的應
- 金剛石磨輪的電火花成形磨削加工
- 基于ZnO金剛石Si結構的瑞利波頻散特性計算
- 什么是薄膜與厚膜?薄膜與厚膜有什么區別? 1291次閱讀
- CVD成為工業制造應用更優選 425次閱讀
- CVD金剛石在機械密封領域中的應用 651次閱讀
- 金剛石表面改性技術研究概況 831次閱讀
- 高功率連續波單頻589nm金剛石鈉導星激光器研究 812次閱讀
- 異質外延單晶金剛石及其相關電子器件的研究進展 1475次閱讀
- 基于金剛石優異內在特性的光子學應用 562次閱讀
- 制造等離子納米金剛石 615次閱讀
- 金剛石半導體的特點 金剛石半導體的應用市場 2671次閱讀
- 金剛石晶格約束下二維固態氦盤的晶體結構介紹 1097次閱讀
- 單晶硅片與蝕刻時間的關系研究 496次閱讀
- 金剛石基氮化鎵(GaN)技術的未來展望 1.4w次閱讀
- 激光焊接金剛石鋸片的一些參量檢測 684次閱讀
- 三分鐘帶你了解金剛石散熱片的生成方法及在微波射頻領域的應用 8804次閱讀
- 金剛石合成控制系統中多串口通信技術的設計與實現 818次閱讀
下載排行
本周
- 1電子電路原理第七版PDF電子教材免費下載
- 0.00 MB | 1491次下載 | 免費
- 2單片機典型實例介紹
- 18.19 MB | 93次下載 | 1 積分
- 3S7-200PLC編程實例詳細資料
- 1.17 MB | 27次下載 | 1 積分
- 4筆記本電腦主板的元件識別和講解說明
- 4.28 MB | 18次下載 | 4 積分
- 5開關電源原理及各功能電路詳解
- 0.38 MB | 11次下載 | 免費
- 6100W短波放大電路圖
- 0.05 MB | 4次下載 | 3 積分
- 7基于AT89C2051/4051單片機編程器的實驗
- 0.11 MB | 4次下載 | 免費
- 8基于單片機的紅外風扇遙控
- 0.23 MB | 3次下載 | 免費
本月
- 1OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234313次下載 | 免費
- 2PADS 9.0 2009最新版 -下載
- 0.00 MB | 66304次下載 | 免費
- 3protel99下載protel99軟件下載(中文版)
- 0.00 MB | 51209次下載 | 免費
- 4LabView 8.0 專業版下載 (3CD完整版)
- 0.00 MB | 51043次下載 | 免費
- 5555集成電路應用800例(新編版)
- 0.00 MB | 33562次下載 | 免費
- 6接口電路圖大全
- 未知 | 30320次下載 | 免費
- 7Multisim 10下載Multisim 10 中文版
- 0.00 MB | 28588次下載 | 免費
- 8開關電源設計實例指南
- 未知 | 21539次下載 | 免費
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935053次下載 | 免費
- 2protel99se軟件下載(可英文版轉中文版)
- 78.1 MB | 537791次下載 | 免費
- 3MATLAB 7.1 下載 (含軟件介紹)
- 未知 | 420026次下載 | 免費
- 4OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234313次下載 | 免費
- 5Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233046次下載 | 免費
- 6電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
- 340992 | 191183次下載 | 免費
- 7十天學會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183277次下載 | 免費
- 8proe5.0野火版下載(中文版免費下載)
- 未知 | 138039次下載 | 免費
評論
查看更多