資料介紹
介紹了激光干涉莫爾信號差動式精密定位方法,提出了精密定位裝置的粗控和微控兩段式控制方式,擴大了裝置的定位控制范圍,又有效地縮短精密定位時間,實現裝置寬控制范圍的高速高精度控制。
關鍵詞:激光莫爾信號,精密定位控制,定位時間,定位精度
Control over high alignment accuracy and high speed of a precision alignment system based on laser moire signals ZHOU Lizhong1, Xie Yong1, Furuhashi Hideo2, Uchida Yoshiyukl2
(1.Information Engineering School,Yangzhou Univ. ,Yangzhou 225009,China;2.Information Network Engineering Department of Aichi Instiute of Technology.Japan) Abstract:This article introdnces principle of the differential precision positioning using laser Moire signals and discusses the macro-control type and micro-control type of a precision alignment system. The principle expands the control range and effectizely shortens precision alignment time for precision alignment. It com fulfil control over high alignment accuracy and high speed of a precision alignment system.
Key Words:Laser moire signals,Control over precisioni positioning,Alignment time, Alignment accuracy
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