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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS) 技術(shù)及其應(yīng)用

2009-06-20 | rar | 94 | 次下載 | 5積分

資料介紹

微機(jī)電系統(tǒng)是一個(gè)新興的技術(shù)領(lǐng)域. 闡述了微機(jī)電系統(tǒng)的特點(diǎn)、加工工藝、應(yīng)用及其現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì).
[關(guān)鍵詞]  微機(jī)電系統(tǒng);微機(jī)械;微傳感器;微細(xì)加工技術(shù)
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