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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>高溫壓力傳感器固態隔離封裝技術的研究

高溫壓力傳感器固態隔離封裝技術的研究

2009-07-02 | rar | 190 | 次下載 | 5積分

資料介紹

論述了多晶硅高溫壓力傳感器小型化固態隔離封裝技術、靜電鍵合技術、不銹鋼膜片的選擇及波紋設計技術、激光焊接技術、硅油充灌和硅油隔離技術等。以不銹鋼膜片和高溫硅油為隔離材料,使傳感器的封裝直徑縮小到15 mm,在1 mA電流激勵下傳感器滿量程輸出為72 mV,零點穩定性為0.48%F.S/mon,提高了傳感器的可靠性,拓寬了傳感器的應用領域。
關 鍵 詞 高溫; 壓力傳感器; 靜電鍵合; 固態隔離; 封裝; 硅油充灌
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