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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>TiO2薄膜氧敏元件的研究與發展

TiO2薄膜氧敏元件的研究與發展

2009-07-04 | rar | 205 | 次下載 | 3積分

資料介紹

綜述了TiO2 氧敏傳感器的發展概況、氧敏機理,并對以不同方法制備的TiO2 氧敏器件性能進行了比較,分析了如何提高氧傳感器的性能,并對TiO2 氧敏傳感器今后的發展和研究提出了幾點建議。
關鍵詞:氧敏傳感器、薄膜、TiO2、制備方法、發展

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