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根據(jù)驅(qū)動(dòng)模態(tài)頻率和檢測(cè)模態(tài)的頻率相互匹配, 用有限元法優(yōu)化了振子框架式微機(jī)械陀螺的結(jié)構(gòu)尺寸; 根據(jù)建立的陀螺振動(dòng)的等效電路模型, 對(duì)檢測(cè)振動(dòng)的性能進(jìn)行了模擬分析, 該模型為傳感器與接口電路的整體模擬打下了基礎(chǔ)。
關(guān)鍵詞: 微機(jī)械陀螺; 優(yōu)化設(shè)計(jì); 等效電路模型; 模擬
Abstract: F irst acco rding to thematch ing of drivingmode frequency and detect ion mode frequency, the st ruc2 ture dimensions of the comb2gimbal m icromach ined gyro scope are op t im ized using a finite element method (FEM ). Then an equivalent circuit model of gyro scope’s o scillat ing p ropert ies is derived, w h ich is available in detect ion o scillat ing p ropert ies analysis and also enables the senso r simulat ion w ith the interfacing elect ron2
ics.
Key words: m icromach ined gyro scope; op t imum design; equivalent circuit model; simulat ion
關(guān)鍵詞: 微機(jī)械陀螺; 優(yōu)化設(shè)計(jì); 等效電路模型; 模擬
Abstract: F irst acco rding to thematch ing of drivingmode frequency and detect ion mode frequency, the st ruc2 ture dimensions of the comb2gimbal m icromach ined gyro scope are op t im ized using a finite element method (FEM ). Then an equivalent circuit model of gyro scope’s o scillat ing p ropert ies is derived, w h ich is available in detect ion o scillat ing p ropert ies analysis and also enables the senso r simulat ion w ith the interfacing elect ron2
ics.
Key words: m icromach ined gyro scope; op t imum design; equivalent circuit model; simulat ion
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