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硅基光波導壓力傳感器由于具有靈敏度高、耐高溫、抗電磁場干擾能力強、微型等優點,特別適合于在特殊環境中的應用。簡要介紹了全反射光波導和抗共振反射光波導壓力傳感器的結構特點、工作原理及其研究現狀。
關鍵詞: 壓力傳感器; 硅; 光波導; 抗共振反射
Abstract : Si2based optical waveguide pressure sensors can be applied in special environment because of their high sensitivity , ability to withstand high temperature ,immunity to electromagnetic interference and miniaturization. The structures ,characteristics , operating principles and researches about Si2based total reflecting optical waveg2 uide and antiresonant reflecting optical waveguide pressure sensors are briefly introduced.
Key words : pressure sensors ; silicon ; optical waveguide ; antiresonant reflecting
關鍵詞: 壓力傳感器; 硅; 光波導; 抗共振反射
Abstract : Si2based optical waveguide pressure sensors can be applied in special environment because of their high sensitivity , ability to withstand high temperature ,immunity to electromagnetic interference and miniaturization. The structures ,characteristics , operating principles and researches about Si2based total reflecting optical waveg2 uide and antiresonant reflecting optical waveguide pressure sensors are briefly introduced.
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