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本文提出一種新的用于CMO S 圖像傳感器像素的光電檢測器——雙極結型光柵晶體管。由于引入p+ n 注入結, 光電荷的讀出速率大大增加, 改善了CMO S 圖像傳感器的工作速率和響應靈敏度。盡管傳統的光電集成電路的電路級模擬采用微電子集成電路的模擬方法, 但是光電子集成電路不僅含有微電子器件和電信號還含有光電檢測器和光信號, 采用傳統的集成電路模擬方法有其局限性。本文提出一種行為級模擬方法(光電子檢測器設計的新方法, 利用C、MA TLAB 和HSP ICE 等語言寫出光電子器件的模擬器) 來模擬分析雙極結型光柵晶體管的特性。基于0. 6 Lm CMO S 工藝的分析結果表明雙極結型光柵晶體管在不同柵氧化層厚度隨柵壓變化與傳統光柵晶體管的特性一樣, 但光電流密度呈指數式增長且光電流密度增大, 因此改善了CMO S 圖像傳感器的工作速率和響應靈敏度。
關鍵詞: 雙極結型光柵晶體管; 光電檢測器; CMO S 圖像傳感器; 行為級模擬方法
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