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微結(jié)構(gòu)氣敏傳感器由于其微型化、低功耗、易陣列化和易批量生產(chǎn)等優(yōu)點而受到國內(nèi)外研究者的廣泛關(guān)注。利用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS) 加工技術(shù),制備Si 基膜片型微結(jié)構(gòu)單元,并分析其熱學(xué)性能。這種單元工作區(qū)溫度為～300 ℃時,加熱功率約75mW;并且膜片工作區(qū)的熱質(zhì)量很小,溫度可以于毫秒量級的時間內(nèi),在室溫和450 ℃之間調(diào)制。利用這種微結(jié)構(gòu)單元,可以在溫度調(diào)制方式下,研究氣敏薄膜的電學(xué)特性和敏感機(jī)理。
關(guān) 鍵 詞:Si 基膜片型微結(jié)構(gòu)單元;微機(jī)電系統(tǒng);熱學(xué)性能
關(guān) 鍵 詞:Si 基膜片型微結(jié)構(gòu)單元;微機(jī)電系統(tǒng);熱學(xué)性能
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