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提出一種采用多探測光路的角位移量程擴展方案, 可以在不降低分辨力的條件下, 將量程擴展多倍, 使傳感器同時具有高分辨力、大量程的優點。結果表明, 量程擴展到360" , 兩光路的分辨力分別為0. 004"和0. 005"。
關鍵詞: 角位移傳感器; 臨界反射; 量程擴展
Abstract:A scheme fo r extending measurement range of the angular disp lacement senso r is p resented. The measurement range of the senso r can be extended w ithout reducing measurement reso lut ion by us2 ing mult i2receiving op t ical units, and the senso rmeet some p ract ical app licat ionsw ith h igh measurement reso lut ion and large measurement range. The results show that itsmeasurement range is 360" and reso2 lut ion are 0. 004" and 0. 005" respect ively.
Key words:A ngle senso r; Crit ical reflect ion; M easurement range
關鍵詞: 角位移傳感器; 臨界反射; 量程擴展
Abstract:A scheme fo r extending measurement range of the angular disp lacement senso r is p resented. The measurement range of the senso r can be extended w ithout reducing measurement reso lut ion by us2 ing mult i2receiving op t ical units, and the senso rmeet some p ract ical app licat ionsw ith h igh measurement reso lut ion and large measurement range. The results show that itsmeasurement range is 360" and reso2 lut ion are 0. 004" and 0. 005" respect ively.
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