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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>一種硅微振動角速度傳感器

一種硅微振動角速度傳感器

2009-07-17 | rar | 413 | 次下載 | 2積分

資料介紹

介紹了一種靜電驅動、電容檢測單自由度硅微振動角速度傳感器實驗樣機的結構、工作原理、加工方法、驅動方法、檢測方法和實驗結果。實驗結果表明,該角速度傳感器實驗樣機已具有一定的性能, 其靈敏度為! 0- ’12 3 ) 4·5 % " * / 量程為! 6 (##4 3 5/ 線性度! "7。
關鍵詞! 角速度傳感器/ 靜電驅動/ 電容檢測
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