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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>一種超薄硅薄膜的制作方法

一種超薄硅薄膜的制作方法

2009-07-18 | rar | 467 | 次下載 | 3積分

資料介紹

超薄、平整的硅應變薄膜對于制作低量程的電容壓力傳感器是非常重要的。提出一種簡單的超薄薄膜制作方法,利用濃硼擴散、F%G 自停止腐蝕和*H,32 等關鍵技術7 得到了厚度9!I左右的平整的1JDH K K E L 1J@(9 復合薄膜。由于內應力引起的撓度在幾百納米數量級7 為制作壓力傳感器奠定了有用的工藝基礎。
關鍵詞:硅薄膜> 內應力> 形變> 電容式微差壓傳感器
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