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對(duì)分度頭檢測(cè)加速度計(jì)靜態(tài)特性相關(guān)的幾何物理問題進(jìn)行了分析+ 結(jié)果表明+ 傳感器在分
度頭上的安裝偏差角和傳感器自身固有的橫向效應(yīng)都會(huì)影響檢測(cè)精度。用分度頭對(duì)加速度計(jì)進(jìn)行靜態(tài)特性的檢測(cè)+ 橫向效應(yīng)包含在測(cè)量結(jié)果的非線性中。用非線性和橫向效應(yīng)都很小的加速度傳感器作為試樣+ 在分度頭上人為安裝有##、(# 和"(# 的偏角時(shí)+ 檢測(cè)到的非線性隨偏角的增加而變大+ 與理論分析一致。利用高分辨分度頭尋找能降低懸臂梁壓阻式加速度傳感器橫向效應(yīng)的基準(zhǔn)面+ 以此基準(zhǔn)面封裝成的傳感器的橫向效應(yīng)和非線性的綜合效果小于#, #(-。
關(guān)鍵詞! 加速度計(jì). 橫向效應(yīng). 非線性. 靜態(tài)測(cè)量
度頭上的安裝偏差角和傳感器自身固有的橫向效應(yīng)都會(huì)影響檢測(cè)精度。用分度頭對(duì)加速度計(jì)進(jìn)行靜態(tài)特性的檢測(cè)+ 橫向效應(yīng)包含在測(cè)量結(jié)果的非線性中。用非線性和橫向效應(yīng)都很小的加速度傳感器作為試樣+ 在分度頭上人為安裝有##、(# 和"(# 的偏角時(shí)+ 檢測(cè)到的非線性隨偏角的增加而變大+ 與理論分析一致。利用高分辨分度頭尋找能降低懸臂梁壓阻式加速度傳感器橫向效應(yīng)的基準(zhǔn)面+ 以此基準(zhǔn)面封裝成的傳感器的橫向效應(yīng)和非線性的綜合效果小于#, #(-。
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