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采用化學共沉淀法制得不同摻雜量的SnO2-WO3 粉體，探討了摻雜量、熱處理溫度、元件工作溫度與WO3氣敏性能的關系。研究發現：SnO2 的添加抑制了WO3 晶粒的生長，提高了其氣體靈敏度。其中以0.5%（質量分數）的摻雜量為最佳，可進行H2S 氣體的選擇性檢測。
關鍵詞:三氧化鎢；氣體傳感器；硫化氫；化學共沉淀法；半導體
Abstract: The powder of xwt.% SnO2-WO3 is prepared by coprecipitation. The effects of SnO2 content, calcining temperature and sensors’ operation temperature on the sensitivity are investigated. The results show that sensitivity rises and WO3 mean grain size become smaller when SnO2 added, and that the sensitivity to H2S can be acquired when x = 0.5.
Key words: WO3; gas sensors; H2S; chemical copercipitation; semicoducto
關鍵詞:三氧化鎢；氣體傳感器；硫化氫；化學共沉淀法；半導體
Abstract: The powder of xwt.% SnO2-WO3 is prepared by coprecipitation. The effects of SnO2 content, calcining temperature and sensors’ operation temperature on the sensitivity are investigated. The results show that sensitivity rises and WO3 mean grain size become smaller when SnO2 added, and that the sensitivity to H2S can be acquired when x = 0.5.
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