資料介紹
分析了微型機電系統的特點、主要科學技術問題、應用和市場。預計到2003 年微小系統的市場約為400 億美元, 是商用航空業的一半。簡介了我國的研究情況。國際上微型機電系統技術剛走向全面發展, 正是我國發展該領域的好時機。
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