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在現代社會中，加速度計已經擁有成熟的市場，被廣泛用于汽車、飛行器以
及軍事制導等各方面。但是傳統方法設計的加速度計已經無法滿足高分辨率、大
動態范圍、高集成度且低成本的發展需求，本論文以克服現有加速度計在上述各
方面的不足為目的，設計了一種可用于高分辨率加速度計的PGC納米位移傳感
器。本論文從研究加速度計和位移傳感器理論模型以及相關程序設計出發，主要
完成了以下幾部分的內容：
首先，深入了解和研究了加速度計的相關基礎知識。對現有的加速度計設計
技術與原理以及以后的發展趨勢進行了歸納總結。并從加速度計的設計原理出
發，對各種加速度計的優缺點和在技術上存在的主要問題進行了分析。這為用于
高分辨率加速度計的PGC納米位移傳感器設計工作指明了方向。
其次，研究了加速度計的各種位移系統和檢測系統，從理論模型對其進行了
分析。研究了可變電容式加速度計、強度調制型光學加速度計和相位調制型光學
加速度計的工作原理。并對邁克爾遜、馬赫·曾德以及發布里．泊羅干涉測距原
理進行了重點研究。為本文的設計工作打下了堅實的基礎。
再次，深入分析了用于光纖干涉型傳感器的各種解調技術。并重點研究了相
位生成載波解調技術。從而確定了本論文的設計方案，并對此方案進行了理論驗
證。為后期工作的開展以及設計的成功提供了保障。
最后。學習了cH程序編譯語言，在前述理論分析的基礎上，自行設計編寫
了用于信號處理的應用程序。搭建了實驗平臺，從實驗上驗證了本設計的可行性，
并通過實驗數據分析和理論驗證，確定本次設計的高分辨率加速度計能夠在毫米
級的量程內精確測出納米級的位移量，其動態范圍可達106。
及軍事制導等各方面。但是傳統方法設計的加速度計已經無法滿足高分辨率、大
動態范圍、高集成度且低成本的發展需求，本論文以克服現有加速度計在上述各
方面的不足為目的，設計了一種可用于高分辨率加速度計的PGC納米位移傳感
器。本論文從研究加速度計和位移傳感器理論模型以及相關程序設計出發，主要
完成了以下幾部分的內容：
首先，深入了解和研究了加速度計的相關基礎知識。對現有的加速度計設計
技術與原理以及以后的發展趨勢進行了歸納總結。并從加速度計的設計原理出
發，對各種加速度計的優缺點和在技術上存在的主要問題進行了分析。這為用于
高分辨率加速度計的PGC納米位移傳感器設計工作指明了方向。
其次，研究了加速度計的各種位移系統和檢測系統，從理論模型對其進行了
分析。研究了可變電容式加速度計、強度調制型光學加速度計和相位調制型光學
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理進行了重點研究。為本文的設計工作打下了堅實的基礎。
再次，深入分析了用于光纖干涉型傳感器的各種解調技術。并重點研究了相
位生成載波解調技術。從而確定了本論文的設計方案，并對此方案進行了理論驗
證。為后期工作的開展以及設計的成功提供了保障。
最后。學習了cH程序編譯語言，在前述理論分析的基礎上，自行設計編寫
了用于信號處理的應用程序。搭建了實驗平臺，從實驗上驗證了本設計的可行性，
并通過實驗數據分析和理論驗證，確定本次設計的高分辨率加速度計能夠在毫米
級的量程內精確測出納米級的位移量，其動態范圍可達106。
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