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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>靜電懸浮微機械加速度計設計

靜電懸浮微機械加速度計設計

2010-08-17 | rar | 347 | 次下載 | 3積分

資料介紹

設計了一種基于靜電懸浮原理的微機械加速度計!
它采用三明治結構的微敏感元件"電容式位移檢測方案及靜
電力懸浮控制方案!著重對敏感元件的主要結構設計#參數
的選取#支承靜電力的計算以及量程極限#精度極限等問題
進行了分析"表明在目前技術條件下"可以實現量程約$%"
精度為&’($%的懸浮微加速度計!設計并加工出一種圓環
形結構的敏感元件"已實現了)軸方向的靜電懸浮及加速
度測量"證明設計方案是可行的"進一步研究可實現三軸懸
浮加速度計!
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