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電子發(fā)燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>一種硅微諧振式壓力傳感器的敏感膜片設計

一種硅微諧振式壓力傳感器的敏感膜片設計

2010-10-14 | rar | 480 | 次下載 | 3積分

資料介紹

根據(jù)正方形膜片的變形和應力分布情況,提出了一種硅微諧振式壓力傳感器敏感膜片的設計方法,設計了兩種正方
形間接連接式壓力敏感膜片.在相同的膜片面積下,新膜片與原有矩形間接連接式壓力敏感膜片性能相近,為內部諧振器
多樣化提供了基礎.最后,就壓力敏感膜片的工藝設計進行了探討,認為采用正方形凸角補償結構的(110>硅島和采用邊長補
償?shù)?100>硅島最適合間接連接式壓力敏感膜片.
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