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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>一種齊平封裝的MEMS高頻響壓力傳感器

一種齊平封裝的MEMS高頻響壓力傳感器

2011-06-10 | pdf | 390 KB | 次下載 | 免費

資料介紹

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設計了一種耐高溫、高頻響壓力傳感器芯片,解決了軍事爆破工程實際中需要在高溫環境中不失真地測量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動態壓力.基于硅隔離SOI(絕緣體上的硅)技術和MEMS(微型機械電子系統)技術,利用ANSYS對它們進行了量程和固有頻率的模擬,并分析計算了加速度靈敏度.對它們進行了齊平結構的封裝,避免了管腔效應的影響,得到了一種耐高溫、高頻響的壓力傳感器.對其中1MPa量程的壓力傳感器進行了動態標定,通過激波管的試驗,得到1MPa壓力傳感器的響應頻率為147kHz,滿足工程實際中的應用.
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