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通過Sawyer2Tower 測試電路研究了鐵電薄膜的電滯回線,發現薄膜漏電阻以及示波器輸入
電阻和電容的影響可能會使所測量的電滯回線發生形狀扭曲或者使測量結果出現較大偏差,通過數值補償方法重建了電荷平衡方程,并編制了相應的軟件補償程序。通過對溶膠2凝膠制備的PZT鐵電薄膜的電滯回線測試表明,運用該數值補償方法可以有效補償薄膜漏電阻以及示波器輸入電阻和電容對測試結果的影響,滿足PZT 鐵電薄膜制備技術以及微機電系統中器件設計對薄膜性能測試的要求。
關 鍵 詞:電滯回線;極化;PZT ;數值補償
電阻和電容的影響可能會使所測量的電滯回線發生形狀扭曲或者使測量結果出現較大偏差,通過數值補償方法重建了電荷平衡方程,并編制了相應的軟件補償程序。通過對溶膠2凝膠制備的PZT鐵電薄膜的電滯回線測試表明,運用該數值補償方法可以有效補償薄膜漏電阻以及示波器輸入電阻和電容對測試結果的影響,滿足PZT 鐵電薄膜制備技術以及微機電系統中器件設計對薄膜性能測試的要求。
關 鍵 詞:電滯回線;極化;PZT ;數值補償
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