資料介紹
摘要:接口電路是懸浮轉子微陀螺研制中的關鍵技術之一。本文對靜電懸浮轉子微陀螺的差分電容結構建立其簡化數學模型,并結合Sigma—Delta技術的優點提出了一種新穎的閉環檢測電路。該檢測電路能夠直接輸出數字信號,系統穩定性好,對陀螺失效具有自檢特性并且能夠有效避免陀螺的鎖住。與通常采用的調制解調方法相比,該檢測電路大大節省了器件,因此非常適用于對微陀螺原型進行測試評估。對該檢測電路的仿真結果表明,其靈敏度為2V/g,動態范圍約為1g。
關鍵詞:Sigma—Delta;MEMS;靜電懸?。晃⑼勇?;閉環檢測
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