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計了一種具有單一檢測質(zhì)量的力平衡式三軸微加速度計．采用硅一硅鍵合工藝形成作為單一檢測質(zhì)量
塊的硅片組合，利用全差分電容檢測法實現(xiàn)對加速度三軸分量的檢測．通過提高檢測質(zhì)量的重心，有效增加了x、y
軸的靈敏度．利用ANSYS仿真軟件對該微加速度計進行了模態(tài)及靜力學(xué)分析，提出了優(yōu)化設(shè)計參數(shù)．3個檢測模態(tài)
(1階、2階和3階模態(tài))的頻率分別為1．329 kHz、1．345 kHz和2．174 kHz．通過優(yōu)化設(shè)計，提高了3階模態(tài)和4階
模態(tài)的頻率差距，降低了其他高階模態(tài)的干擾．在1009(g為重力加速度)的z向加速度作用下，懸臂梁所受的最
大應(yīng)力為46 MPa，小于單晶硅的彎曲極限值70～200 MPa．靜力學(xué)分析表明，加速度計的懸臂梁結(jié)構(gòu)參數(shù)能夠滿足
加速度計的力學(xué)性能要求．
塊的硅片組合，利用全差分電容檢測法實現(xiàn)對加速度三軸分量的檢測．通過提高檢測質(zhì)量的重心，有效增加了x、y
軸的靈敏度．利用ANSYS仿真軟件對該微加速度計進行了模態(tài)及靜力學(xué)分析，提出了優(yōu)化設(shè)計參數(shù)．3個檢測模態(tài)
(1階、2階和3階模態(tài))的頻率分別為1．329 kHz、1．345 kHz和2．174 kHz．通過優(yōu)化設(shè)計，提高了3階模態(tài)和4階
模態(tài)的頻率差距，降低了其他高階模態(tài)的干擾．在1009(g為重力加速度)的z向加速度作用下，懸臂梁所受的最
大應(yīng)力為46 MPa，小于單晶硅的彎曲極限值70～200 MPa．靜力學(xué)分析表明，加速度計的懸臂梁結(jié)構(gòu)參數(shù)能夠滿足
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