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微機械電容式加速度計檢測電路設計

2010-08-17 | rar | 308 | 次下載 | 5積分

資料介紹

通過對MEMs電容式加速度計的差分電容檢測電路優(yōu)缺點的比較,結合直流充放電檢測方法和
交流測量方法的優(yōu)點,設計了微分檢測電路,用方波作為載波。該電路由方波信號發(fā)生器、微分電路、全波
整流電路和濾波電路組成。經試驗驗證:可檢測到lO。6 F的差分電容,且其非線性度小于±l%Fs,可作
為MEMS電容式加速度計的后續(xù)處理電路。
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