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從硅片制造的最初階段就開始進行檢查。半導體生產的熟練工人在簡單觀察硅片表面的氧化物薄膜后就能預測相應的薄膜厚度。無論氧化薄膜出現何種色澤，都可以與比色表對比，比色表時由每種色澤相結合的不同膜厚的一片片硅片組成的。
硅片工藝流程的檢查技術經歷了重大的改變。特征尺寸不斷縮小，現在縮小到0.25um以下。同時，在硅片上的芯片密度不斷增加。每一步都決定著成功還是失敗的關鍵問題：沾污、結深、薄膜的質量等。另外，新材料和工藝的引入都會帶來芯片失效的新問題。測量對于描繪硅片的特性與檢查其成品率非常關鍵。
為了維持良好的工藝生產能力并提高器件的特性，硅片制造廠已提高了對工藝參數的控制，并減少了在制造中缺陷的來源。
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