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基于共聚焦顯微技術(shù)的共焦顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術(shù)，它通過數(shù)碼相機(jī)針孔的高強(qiáng)度激光來實(shí)現(xiàn)數(shù)字成像，具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力。
成像原理
共焦顯微鏡裝置是在被測(cè)對(duì)象焦平面的共軛面上放置兩個(gè)小孔，其中一個(gè)放在光源前面，另一個(gè)放在探測(cè)器前面，如圖所示。
得到的圖像是來自一個(gè)焦平面的光通過針孔數(shù)碼相機(jī)聚焦拍攝，通過所累積的不同焦平面的圖像序列，使用軟件編譯完整的 3d 圖像。
能測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)，對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
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