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      標簽　>　光刻工藝

      光刻工藝

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      光刻工藝技術

      光刻工藝的基本步驟

      傳統的光刻工藝是相對目前已經或尚未應用于集成電路產業的先進光刻工藝而言的，普遍認為 193nm 波長的 ArF 深紫外光刻工藝是分水嶺（見下表）。這是因...

      2022-10-18 標簽：芯片集成電路光刻工藝 1.6萬 0

      GAA器件集成工藝與關鍵挑戰

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      GAA，一般指全環繞柵極晶體管(Gate-All-Around FET)。GAA被廣泛認為是鰭式結構(FinFET)的下一代接任者。下面簡單介紹一下GA...

      2023-08-22 標簽：工藝晶體管FET 9415 0

      光學鄰近效應修正技術的基本知識

      光學鄰近效應修正技術的基本知識

      在上一節計算光學小講堂中，我們學習了光源掩模協同優化（source mask co-optimization, SMO）的相關知識。這一節我們將主要探索...

      2023-09-01 標簽：OPC光學系統光刻機 5784 0

      淺談半導體制造中的光刻工藝

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      在之前的文章里，我們介紹了晶圓制造、氧化過程和集成電路的部分發展史?，F在，讓我們繼續了解光刻工藝，通過該過程將電子電路圖形轉移到晶圓上。光刻過程與使用膠...

      2023-06-28 標簽：芯片半導體晶圓 5108 0

      厚膜材料新技術趨勢研究——光刻型厚膜漿料

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      單針對厚膜電路技術，其核心材料厚膜漿料就在電子產品制造過程中，應用的行業領域十分廣泛，包括消費電子、汽車、物聯網、電信、生物醫學、太空和軍事等。電子產品...

      2022-03-29 標簽：電感器光刻工藝厚膜材料 4883 0

      半導體制造工藝最強科普

      半導體產業中，制造工工程被稱為工藝（Process），理由是什么？雖然沒有明確的答案，但與其說加工尺寸微?。壳笆莕m制程），不如說制造過程無法用肉眼看到所致。

      2023-02-21 標簽：半導體晶圓制造工藝 4509 0

      什么是光刻工藝？光刻的基本原理

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      光刻是半導體芯片生產流程中最復雜、最關鍵的工藝步驟，耗時長、成本高。半導體芯片生產的難點和關鍵點在于將電路圖從掩模上轉移至硅片上，這一過程通過光刻來實現...

      2023-08-23 標簽：集成電路半導體光刻工藝 4119 0

      半導體制造之光刻工藝講解

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      光刻工藝就是把芯片制作所需要的線路與功能做出來。利用光刻機發出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光，光刻膠見光后會發生性質變化，從而使光罩上得圖...

      2023-12-04 標簽：半導體光刻機半導體制造 3805 0

      一文了解DPC陶瓷基板工藝流程

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      直接鍍銅陶瓷基板（Direct Plating Copper, DPC）是在陶瓷薄膜工藝加工基礎上發展起來的陶瓷電路加工工藝。以氮化鋁/氧化鋁陶瓷作為線...

      2023-05-31 標簽：陶瓷基板光刻工藝 2998 0

      光刻技術概述及其分類

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      光刻是一種圖像復制技術，是集成電路工藝中至關重要的一項工藝。簡單地說，光刻類似照相復制方法，即將掩膜版上的圖形精確地復制到涂在硅片表面的光刻膠或其他掩蔽...

      2023-08-07 標簽：芯片半導體光刻技術 2985 0

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      光刻工藝帖子

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      光刻工藝資訊

      光刻的分類和工藝流程

      該工序使用涂膠裝置(涂膠機)。為了去除光刻膠中含有的溶劑，在70 ~ 90°C的溫度下進行前烘(Pre -Bake)。在曝光裝置上“繪制”掩膜圖形。接下...

      2022-12-09 標簽：光刻工藝 8678 0

      一文了解光刻的歷史

      如今，光刻技術已成為一項容錯率極低的大產業。全球領先的荷蘭公司 ASML 也是歐洲市值最大的科技公司。它的光刻工具依賴于世界上最平坦的鏡子、最強大的商用...

      2023-06-26 標簽：芯片晶體管光刻工藝 1028 0

      埃瑞微半導體前道套刻設備總部項目簽約無錫高新區

      據了解，無錫埃瑞微半導體設備有限責任公司以集成電路的全會工程正在專心研發制造量測量設備，為光刻工藝的大量生產誤差為代表的夾注測量設備和其他缺陷正在致力提...

      2023-12-04 標簽：集成電路光刻工藝半導體設備 612 0

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      光刻工藝數據手冊

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        IoT是Internet of Things的縮寫，字面翻譯是“物體組成的因特網”，準確的翻譯應該為“物聯網”。物聯網（Internet of Things）又稱傳感網，簡要講就是互聯網從人向物的延伸。
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