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微型機器人的發展依賴于微加工工藝、微傳感器、微驅動器和微結構四個方面。這四個方面的基礎研究有三個階段：器件開發階段、部件開發階段、裝置和系統開發階段。現已研制出直徑20微米、長150微米的鉸鏈連桿，200微米×200微米的滑塊結構，以及微型的齒輪、曲柄、彈簧等。