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標簽 > 微機械
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隨著世界各國現代化步伐的加快,對檢測技術的要求越來越高。而科學技術,尤其是大規模集成電路技術、微型計算機技術、機電一體化技術、微機械和新材料技術的不斷進...
Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 結構在制作 CMOS 之前完成,帶有MEMS 微結構部分的硅片可以作為 CMOS 工藝的初始材料。
隨著生物醫療、納米技術和微電子技術的不斷演進,人們對植入式生物醫療設備(IBD)的需求正在迅速增長。
微機械陀螺即MEMS陀螺,也稱為硅微陀螺,它的制作是通過采用半導體生產中成熟的沉積、蝕刻和摻雜等工藝,將機械裝置和電子線路集成在微小的硅芯片上完成的,最...
在現代汽車技術中,提升駕駛安全性和操作穩定性一直是發展的重點。橫擺率傳感器作為現代車輛電子穩定程序關鍵的組成部分,扮演著至關重要的角色。本文將探討兩種主...
建立了國家“111”引智基地。與美國加州理工學院、加州大學伯克利分校、德國慕尼黑工業大學、弗萊堡大學、法國巴黎高師等多所國際著名大學建立了良好合作關系,...
皮秒激光器的原理及微機械加工應用 超短激光脈沖的激光切除的優點在很多應用中得到了證實,直到最近也沒有在工廠的地板上發現這些應用
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