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標(biāo)簽 > 微機械
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在現(xiàn)代汽車技術(shù)中,提升駕駛安全性和操作穩(wěn)定性一直是發(fā)展的重點。橫擺率傳感器作為現(xiàn)代車輛電子穩(wěn)定程序關(guān)鍵的組成部分,扮演著至關(guān)重要的角色。本文將探討兩種主...
基于不同的結(jié)構(gòu)參數(shù)對PMUT性能的影響
近年來,微機械超聲換能器(MUT)技術(shù)一直處于快速發(fā)展階段。與傳統(tǒng)的塊體型超聲換能器相比,MUT具有體積小、質(zhì)量小、集成度高及成本低等特點,因此已經(jīng)成為...
CMUT首先由M.I.Haller提出。CMUT 換能器是由多層結(jié)構(gòu)和多層材料構(gòu)成。CMUT電容單元結(jié)構(gòu)如圖 2 所示,從上到下依次為金屬鋁上電極氧化硅...
Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 結(jié)構(gòu)在制作 CMOS 之前完成,帶有MEMS 微結(jié)構(gòu)部分的硅片可以作為 CMOS 工藝的初始材料。
隨著生物醫(yī)療、納米技術(shù)和微電子技術(shù)的不斷演進,人們對植入式生物醫(yī)療設(shè)備(IBD)的需求正在迅速增長。
2022-10-13 標(biāo)簽:pcb醫(yī)療設(shè)備微機械 3522 0
隨著世界各國現(xiàn)代化步伐的加快,對檢測技術(shù)的要求越來越高。而科學(xué)技術(shù),尤其是大規(guī)模集成電路技術(shù)、微型計算機技術(shù)、機電一體化技術(shù)、微機械和新材料技術(shù)的不斷進...
汽車MEMS市場安裝率節(jié)節(jié)攀升 汽車安全性能要求越來越高
微機械陀螺即MEMS陀螺,也稱為硅微陀螺,它的制作是通過采用半導(dǎo)體生產(chǎn)中成熟的沉積、蝕刻和摻雜等工藝,將機械裝置和電子線路集成在微小的硅芯片上完成的,最...
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