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標(biāo)簽 > 微機(jī)電系統(tǒng)
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機(jī)電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí),是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)。
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MEMS全稱Micro Electromechanical System,微機(jī)電系統(tǒng)。是指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米...
2016-12-27 標(biāo)簽:半導(dǎo)體MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 24.1萬(wàn) 1
談?wù)揗EMS技術(shù)原理及優(yōu)勢(shì)
可能大部分對(duì)MEMS還是比較陌生,但其實(shí)MEMS在生活中早已無(wú)處不在了,智能手機(jī)、手環(huán)、汽車、無(wú)人機(jī)、VR/AR頭戴式設(shè)備等,都應(yīng)用了MEMS器件。
2018-07-15 標(biāo)簽:傳感器mems微機(jī)電系統(tǒng) 2.3萬(wàn) 0
MEMS芯片(微電子機(jī)械系統(tǒng)芯片)是一種新型的集成芯片,也可以被稱為微機(jī)電系統(tǒng)芯片(Micro-electromechanical System Chi...
采用ADXL345實(shí)現(xiàn)功能全面的計(jì)步器設(shè)計(jì)
計(jì)步器是一種頗受歡迎的日常鍛煉進(jìn)度.,可以激勵(lì)人們挑戰(zhàn)自己,增強(qiáng)體質(zhì),幫助瘦身。早期設(shè)計(jì)利用加重的機(jī)械開關(guān)檢測(cè)步伐,并帶有一個(gè)簡(jiǎn)單的計(jì)數(shù)器。晃動(dòng)這些裝置...
2019-02-06 標(biāo)簽:傳感器微機(jī)電系統(tǒng)ADXL345 1.9萬(wàn) 0
源自微電子,MEMS制造的優(yōu)勢(shì)在于批處理。就像其它任何產(chǎn)品,MEMS器件規(guī)模量產(chǎn)加大了它的經(jīng)濟(jì)效益。如同集成電路制造,MEMS制造中光刻方法往往最具成本...
2019-08-29 標(biāo)簽:微機(jī)電系統(tǒng) 9961 0
什么是MEMS傳感器?mems傳感器的組成和應(yīng)用分類有哪些?
傳感器發(fā)展到今天,小型化、智能化、集成化,已經(jīng)是升級(jí)換代的必由之路。今天,我們來(lái)為大家介紹一下傳感器家族的mini型產(chǎn)品 MEMS傳感器。 什么是MEM...
2017-11-24 標(biāo)簽:傳感器mems微機(jī)電系統(tǒng) 9956 0
MEMS與IC集成工藝介紹 NEMS器件在IC 中的應(yīng)用
現(xiàn)在微機(jī)電系統(tǒng)已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超越了“機(jī)”和“電”的概念, 將處理熱、光、磁、化學(xué)、生物等結(jié)構(gòu)和器件通過(guò)微電子工藝及其他一些微加工工藝制造在芯片上, 并通過(guò)與...
2018-05-03 標(biāo)簽:cmosnems微機(jī)電系統(tǒng) 9692 0
如何借助高均勻性的 SOI 優(yōu)化襯底在 MEMS 中實(shí)現(xiàn)多種設(shè)計(jì)創(chuàng)新?
微機(jī)電系統(tǒng) (Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS) 是迄今最具潛力的 CMOS 傳感器與驅(qū)動(dòng)器電子器件集成解決...
2022-04-21 標(biāo)簽:MEMS傳感器微機(jī)電系統(tǒng)SOI 5667 0
3D晶圓鍵合裝備的工藝過(guò)程及研發(fā)現(xiàn)狀
設(shè)備由MEMS領(lǐng)域應(yīng)用轉(zhuǎn)化到3D集成技術(shù)領(lǐng)域,表現(xiàn)出高對(duì)準(zhǔn)精度特點(diǎn)。大多數(shù)對(duì)準(zhǔn)、鍵合工藝都源于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造技術(shù),但應(yīng)用于3D集成的對(duì)準(zhǔn)精度...
MEMS傳感器的原理和構(gòu)造深入解讀 MEMS電容式傳感器MEMS壓阻式加速度計(jì)
? MEMS傳感器是當(dāng)今最熱門的傳感器種類,MEMS技術(shù)使傳感器微型化、低功耗、集成化成為可能,是未來(lái)傳感器技術(shù)的發(fā)展方向之一。 ? 本文編譯自傳感器寶...
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怎么通過(guò)五種運(yùn)動(dòng)檢測(cè)模式實(shí)現(xiàn)應(yīng)用產(chǎn)品的變革?
標(biāo)簽:mems微機(jī)電系統(tǒng) 1880 3
重力傳感器(G-sensor)原理與應(yīng)用立即下載
類別:傳感器技術(shù)論文 2011-09-06 標(biāo)簽:微機(jī)電系統(tǒng)重力傳感器G-sensor 6509 4
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)慣性傳感器的設(shè)計(jì)及其實(shí)用方法的介紹立即下載
類別:傳感與控制 2017-10-23 標(biāo)簽:mems慣性傳感器微機(jī)電系統(tǒng) 1326 0
WSN和OMNET++通信的詳細(xì)中文資料免費(fèi)下載立即下載
類別:通信網(wǎng)絡(luò) 2018-06-12 標(biāo)簽:傳感器WSN微機(jī)電系統(tǒng) 1240 1
AN2344 - 采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的Microchip振蕩器和時(shí)鐘立即下載
類別:機(jī)電一體化技術(shù)論文 2018-03-21 標(biāo)簽:振蕩器微機(jī)電系統(tǒng) 1173 0
類別:嵌入式開發(fā) 2014-10-27 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng)Kalman濾波 1147 1
微機(jī)電系統(tǒng)特點(diǎn)及加工技術(shù)立即下載
類別:機(jī)電一體化技術(shù)論文 2018-01-24 標(biāo)簽:微機(jī)電系統(tǒng) 1037 0
類別:測(cè)試測(cè)量論文 2017-09-08 標(biāo)簽:微機(jī)電系統(tǒng)安培型免疫傳感器 898 0
類別:汽車電子 2017-11-22 標(biāo)簽:汽車安全聲波微機(jī)電系統(tǒng) 851 0
簡(jiǎn)述MEMS耐高溫壓力傳感器封裝工藝研究立即下載
類別:傳感與控制 2014-09-01 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng)高溫壓力傳感器 847 0
新型微機(jī)電系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)智能手機(jī)的光學(xué)變焦能力立即下載
類別:傳感與控制 2017-10-26 標(biāo)簽:微機(jī)電系統(tǒng)光學(xué)變焦 841 0
傳統(tǒng)傳感器的唯一替代:MEMS產(chǎn)業(yè)鏈一覽
微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro Mechanical System)是指尺寸在幾毫米乃至更小的傳感器裝置,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí),是一...
2016-11-29 標(biāo)簽:傳感器MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 3.6萬(wàn) 0
MEMS發(fā)展迅速,Yole Development預(yù)計(jì)2023年市場(chǎng)規(guī)模超300億美元
MEMS 產(chǎn)業(yè)鏈一般由芯片設(shè)計(jì)企業(yè)、晶圓制造廠商、封裝測(cè)試廠商和終端應(yīng)用企業(yè)構(gòu)成,芯片設(shè)計(jì)企業(yè)專注于 MEMS 芯片及其產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì),完成設(shè)計(jì)后交由第...
2020-11-10 標(biāo)簽:傳感器mems微機(jī)電系統(tǒng) 1.3萬(wàn) 0
陽(yáng)極鍵合技術(shù)廣泛應(yīng)用于MEMS器件的制備過(guò)程中
1969年,美國(guó)的Wallis和Pomerantz兩位研究人員首次提出了陽(yáng)極鍵合技術(shù),其鍵合方法如圖1所示。陽(yáng)極鍵合目前在硅片與玻璃鍵合中得到了較為廣泛...
2020-06-17 標(biāo)簽:壓力傳感器微機(jī)電系統(tǒng)MEMS器件 1.3萬(wàn) 0
低成本聚合物微流控芯片加工領(lǐng)域的最新技術(shù)和成果
微流控技術(shù)最初源自于微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electromechanical system, MEMS)在微量流體操控方面的研究,形成于20世紀(jì)90年...
2019-05-27 標(biāo)簽:傳感器微流控芯片微機(jī)電系統(tǒng) 8792 0
MEMS電容式加速度傳感器(簡(jiǎn)介) MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域,與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、...
2020-04-16 標(biāo)簽:mems電容式微機(jī)電系統(tǒng) 7332 0
微機(jī)電系統(tǒng)的三種材料和加工技術(shù)
微機(jī)電設(shè)備的尺寸通常在20微米到一毫米之間,它們內(nèi)部通常包含一個(gè)微處理器和若干獲取外界信息的微型傳感器。
2020-03-07 標(biāo)簽:傳感器mems微機(jī)電系統(tǒng) 6761 0
國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈現(xiàn)狀是怎樣的?這些MEMS企業(yè)實(shí)力幾何?
MEMS被認(rèn)為是21世紀(jì)最有前途的技術(shù)之一,如果半導(dǎo)體微制造被視為第一次微制造革命,MEMS則是第二次革命。通過(guò)結(jié)合硅基微電子技術(shù)和微機(jī)械加工技術(shù),ME...
2020-08-25 標(biāo)簽:mems微機(jī)電系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)鏈 5015 0
USound推基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的對(duì)患者安全的揚(yáng)聲器
為個(gè)人設(shè)備和可穿戴技術(shù)開發(fā)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)揚(yáng)聲器的全球性公司USound宣布進(jìn)軍健康科技行業(yè),將推出完全適用于磁共振成像兼容耳機(jī)和配件的MEMS揚(yáng)...
2022-04-06 標(biāo)簽:mems揚(yáng)聲器微機(jī)電系統(tǒng) 4601 0
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))前景廣闊,我輩仍需努力
成熟的供應(yīng)鏈以及設(shè)計(jì)和制造基礎(chǔ)設(shè)施,結(jié)合成功的商業(yè)化背景和更廣闊的市場(chǎng)需求,為MEMS領(lǐng)域的初創(chuàng)公司提供了一個(gè)充滿活力的發(fā)展環(huán)境。
2019-04-16 標(biāo)簽:IEEE微機(jī)電系統(tǒng) 4575 0
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)特點(diǎn)分析
微機(jī)電系統(tǒng),英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫),其是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械...
2011-09-13 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 4479 0
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