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標簽 > 微機電系統
微機電系統（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統其內部結構一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統。
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微機電系統（Micro Electro-Mechanical Systems，簡稱MEMS）壓力傳感器在汽車工業中有著極為廣泛的應用。它們小巧高效，能夠...
隨著微機電系統（MEMS）技術的不斷發展，其在航空航天、汽車電子、消費電子、生物醫學等領域的應用日益廣泛。作為MEMS器件的重要組成部分，封裝技術對于保...
數字鏡陣列 (DMD) 或微機電系統 (MEMS) 由一組小型矩形反射鏡組成。每個鏡子可以有不同的傾斜度。
加速度傳感器常用的有兩種，一種是基于壓電效應的壓電式加速度傳感器，另一種是基于微機電系統（MEMS）技術的微型加速度傳感器。 壓電式加速度傳感器是利用壓...
激光投影儀將移動的光轉換為更高級別的信息，用于實際用途，如標志、圖形和視頻。信息本身可以以矢量圖形激光投影（VGLP）模式或光柵模式呈現，而MEMS鏡的...
微機電系統與專用集成電路的結合也在同時走向成熟，這將帶來前所未有的產品。傳感器的微型化推動了遠程醫療、智能家居、智能城市、先進制造設施、手持可穿戴設備等...
可以改變焦距的鏡頭用于各種光學設備，例如可變放大倍率相機的變焦鏡頭、雙筒望遠鏡、光學顯微鏡和投影儀。 最近，智能手機相機等小型光學單元也配備了可變放大倍...
自20世紀中期以來，微電子技術及其加工工藝得到迅速的發展。在此基礎上，微機械加工技術 (Micromachining Technology），特別是針對...
微機電系統是集微傳感器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統。
微機電系統（MEMS）器件具有小型化、低成本、可批量生產的特點，在消費電子、汽車電子、航空航天、醫療器械和工業控制等多個領域的廣泛應用
解決大問題需要開創性的技術，機電繼電器早在電報問世之初就已存在，但沒有其他替代的開關技術可滿足所有市場需求——特別是對于測試和測量、通信、防務、醫療保健...
聲表面波（SAW）器件是微機電系統（MEMS）的一個子類，其在受到電激勵時會產生聲波輻射。
MEMS芯片（微電子機械系統芯片）是一種新型的集成芯片，也可以被稱為微機電系統芯片（Micro-electromechanical System Chi...
設備由MEMS領域應用轉化到3D集成技術領域，表現出高對準精度特點。大多數對準、鍵合工藝都源于微機電系統（MEMS）制造技術，但應用于3D集成的對準精度...
MEMS傳感器的原理和構造深入解讀 MEMS電容式傳感器MEMS壓阻式加速度計
? MEMS傳感器是當今最熱門的傳感器種類，MEMS技術使傳感器微型化、低功耗、集成化成為可能，是未來傳感器技術的發展方向之一。 ? 本文編譯自傳感器寶...
采用射頻微機電系統可重構濾波器而不是變容器來改變諧振器濾波器中諧振器的長度或其電路參數則形成了第二類可重構濾波器[10]-[15]。
什么是射頻微機電系統開關？ ? 射頻微機電系統 (RF MEMS) 開關是低功耗小型微機械開關，可以使用傳統的MEMS制造技術生產。它們類似于房間中的電...
什么是射頻微機電系統開關？ 射頻微機電系統 （RF MEMS） 開關是低功耗小型微機械開關，可以使用傳統的MEMS制造技術生產。它們類似于房間中的電燈開...
如何借助高均勻性的 SOI 優化襯底在 MEMS 中實現多種設計創新？
微機電系統 (Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS) 是迄今最具潛力的 CMOS 傳感器與驅動器電子器件集成解決...
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