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微機電系統(tǒng)

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微機電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統(tǒng)。

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微機電系統(tǒng)技術(shù)

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探秘MEMS封裝中的封帽“黑科技”

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如何在OpticStudio中建模DMD呢？有哪些步驟？

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日本理化所開發(fā)出可變焦距的超透鏡

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2023-12-05 標(biāo)簽：光學(xué)光學(xué)傳感器微機電系統(tǒng) 997 0

微機電系統(tǒng)(MEMS)的基本工藝和應(yīng)用

自20世紀(jì)中期以來，微電子技術(shù)及其加工工藝得到迅速的發(fā)展。在此基礎(chǔ)上，微機械加工技術(shù) (Micromachining Technology），特別是針對...

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mems加速度傳感器的分類有哪些

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一種新型的基于仿真的MEMS結(jié)構(gòu)進化方法

微機電系統(tǒng)（MEMS）器件具有小型化、低成本、可批量生產(chǎn)的特點，在消費電子、汽車電子、航空航天、醫(yī)療器械和工業(yè)控制等多個領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用

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ADI MEMS開關(guān)技術(shù)解析

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光學(xué)薄膜的反射率討論

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利于氣溶膠噴射打印技術(shù)制備高頻SAW溫度傳感器

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mems和芯片有什么區(qū)別

MEMS芯片（微電子機械系統(tǒng)芯片）是一種新型的集成芯片，也可以被稱為微機電系統(tǒng)芯片（Micro-electromechanical System Chi...

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3D晶圓鍵合裝備的工藝過程及研發(fā)現(xiàn)狀

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2023-04-20 標(biāo)簽：集成電路晶圓光刻 5485 0

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? MEMS傳感器是當(dāng)今最熱門的傳感器種類，MEMS技術(shù)使傳感器微型化、低功耗、集成化成為可能，是未來傳感器技術(shù)的發(fā)展方向之一。 ? 本文編譯自傳感器寶...

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滿滿的知識點 | 關(guān)于射頻微機電系統(tǒng)開關(guān)的那些事兒

什么是射頻微機電系統(tǒng)開關(guān)？ ? 射頻微機電系統(tǒng) (RF MEMS) 開關(guān)是低功耗小型微機械開關(guān)，可以使用傳統(tǒng)的MEMS制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類似于房間中的電...

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新松機器人自動化股份有限公司（以下簡稱“新松”）成立于2000年，隸屬中國科學(xué)院，是一家以機器人技術(shù)為核心的高科技上市公司。作為國家機器人產(chǎn)業(yè)化基地，新松擁有完整的機器人產(chǎn)品線及工業(yè)4.0整體解決方案。

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