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標簽 > 微機電系統
微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統其內部結構一般在微米甚至納米量級,是一個獨立的智能系統。
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美國Siargo微機電氣體質量流量傳感器 FS1015CL系列產品特點
FS1015CL系列微機電氣體質量流量傳感器是專門為各類醫學用氣體的測量和過程控制而設計的。產品采用微機電系統(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類...
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利用40多年來MEMS技術的最新進展,MPS傳感器改變了企業監控環境中可燃氣體不安全水平的方式。與傳統的催化珠式和非分散紅外(non-dispersiv...
1969年,美國的Wallis和Pomerantz兩位研究人員首次提出了陽極鍵合技術,其鍵合方法如圖1所示。陽極鍵合目前在硅片與玻璃鍵合中得到了較為廣泛...
MEMS傳感器的類型和應用 MEMS傳感器即微機電系統是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發展,已成為世界矚目的重大科...
不論是在家中、車上或工作場所,微機電(MEMS)應用已悄悄深入消費者生活。盡管不常受到注意,MEMS技術在過去20年間經歷了劇烈的改變。隨著物聯網(Io...
MEMS傳感器即微機電系統是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域,與傳統的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適...
MEMS電容式加速度傳感器(簡介) MEMS傳感器即微機電系統是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域,與傳統的傳感器相比,它具有體積小、...
MEMS傳感器的六類簡介 以下直接介紹MEMS傳感器的幾個類型及工作原理介紹,MEMS傳感器即微機電系統是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研...
雖然大部分人對于MEMS(Microelectromechanical systems, 微機電系統/微機械/微系統)還是感到很陌生,但是其實MEMS在...
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成熟的供應鏈以及設計和制造基礎設施,結合成功的商業化背景和更廣闊的市場需求,為MEMS領域的初創公司提供了一個充滿活力的發展環境。
Gyration的空中運動控制器可以把人手的自然運動立即轉換成顯示器屏幕上的動作,能夠對人手在位置和方向上的變化做出精確的反應。除采用ST的微機電系統(...
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