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　　微電子機械系統是指利用半導體技術設計和制造微米領域的三維力學系統，形成高度自動化、智能化，可以大批生產，價格低廉的微電子機械系統，具有廣闊的應用前景，開辟了制造集成到硅片上的微米傳感器和微米電機的嶄新可能性。