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標簽 > 清洗
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隨著器件的高集成化,對高質(zhì)量硅晶片的期望。高質(zhì)量晶片是指晶體質(zhì)量、加工質(zhì)量以及表面質(zhì)量優(yōu)異的晶片。此外,芯片尺寸的擴大、制造成本的增加等問題受到重視,近...
基于RCA清洗系統(tǒng)的熱模型以及清洗液的溫度控制法
在半導(dǎo)體制造工序的硅晶圓的清洗中,RCA清洗法被很多企業(yè)使用。RCA清洗方法是清洗硅片的行業(yè)標準方法,其中清洗溶液的溫度控制對于穩(wěn)定的清洗性能很重要,但...
2022-04-15 標簽:清洗 1113 0
本文的目標是討論一種新技術(shù),它可以在保持競爭力的首席運營官的同時改善權(quán)衡。 將開發(fā)濕化學(xué)抗蝕劑去除溶液的能力與對工藝和工具要求的理解相結(jié)合,導(dǎo)致了用于光...
本文使用高頻超聲波的半導(dǎo)體單片清洗中的微粒子去除進行了研究。水中的超聲波在波導(dǎo)管內(nèi)傳播時,根據(jù)波導(dǎo)管的內(nèi)徑形成平面波以外的波導(dǎo)管模式,此時,通過LDV測...
在最近的半導(dǎo)體清潔方面,以生物堿為基礎(chǔ)的RCA清潔法包括大量的超純和化學(xué)液消耗量以及清潔時多余薄膜的損失; 由于環(huán)境問題,對新的新精液和清潔方法的研究正...
本文研究了兆聲功率、溫度和時間的相互影響,在兆聲功率和中高溫下進行的稀釋化學(xué)反應(yīng)被證明對小顆粒再利用是非常有效的。數(shù)據(jù)顯示,當(dāng)在中等溫度(例如45℃)下...
退火后對結(jié)特性的剝離和清潔對于實現(xiàn)預(yù)期和一致的器件性能至關(guān)重要,發(fā)現(xiàn)光致抗蝕劑剝離和清洗會導(dǎo)致:結(jié)蝕刻、摻雜劑漂白和結(jié)氧化,植入條件可以增強這些效應(yīng),令...
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