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標簽 > 高集成度
集成度,是指圖形中最小線條寬度,集成電路的集成度是指單塊芯片上所容納的元件數目,集成度越高,所容納的元件數目越多,為此對傳統的光刻方法進行了很多改進以滿足分辨率的要求,增加集成電路的集成度。
集成度,是指圖形中最小線條寬度,集成電路的集成度是指單塊芯片上所容納的元件數目,集成度越高,所容納的元件數目越多,為此對傳統的光刻方法進行了很多改進以滿足分辨率的要求,增加集成電路的集成度。
集成電路的線寬通常可理解為所加工的電路圖形中最小線條寬度,但在MOS電路中,人們也常用柵極長度來定義線寬。集成度與線寬有對應關系,即集成度越高,線寬越小,所以,線寬也常用來表示集成電路制造技術水平的高低。
隨著大規模集成電路和超大規模集成電路的發展,人們對光刻分辨率的要求愈來愈高。1995年為0.35μm,1998年為0.18μm,現在努力的方向是0.18μm,接著就是0.13μm。
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