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MEMS技術(shù)淺談及應(yīng)用設(shè)計方案集錦
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),在歐洲也被稱為微系統(tǒng)技術(shù),或在日本被稱為微機(jī)械,是一類器件,其特點(diǎn)是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS器件的特征長度從1毫米到1微...
基于MEMS慣性傳感器的加速度測量無線傳輸系統(tǒng)設(shè)計
微電子與微機(jī)械(MEMS)技術(shù)的發(fā)展,使現(xiàn)代傳感器設(shè)計向微型化、智能化、集成化、微低功耗方向發(fā)展。MEMS技術(shù)突破了傳統(tǒng)傳感器設(shè)計受質(zhì)量、體積、功耗等技...
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