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硅片形貌效應(yīng)及其與底部抗反射涂層(BARC)沉積策略關(guān)系的解析
硅片形貌效應(yīng)在光刻工藝中十分重要,特別是在現(xiàn)代集成電路制造中,如FinFET等先進(jìn)器件結(jié)構(gòu)以及雙重圖形技術(shù)的廣泛應(yīng)用下,硅片表面的微小不平整性對光刻結(jié)果...
Via pillar,又可以叫Via ladder。貌似Cadence家喜歡叫pillar,synopsis喜歡叫l(wèi)adder,我也不知道它們?yōu)樯恫荒芙y(tǒng)...
簡單聊一聊DPT技術(shù)-double pattern technology
今天想來簡單聊一聊DPT技術(shù)-double pattern technology,也就是雙層掩模版技術(shù),在目前先進(jìn)工藝下,這項技術(shù)已經(jīng)應(yīng)用的很普遍了。
今天想聊一聊STA相關(guān)的RC corner的問題。我先簡單介紹一些什么是signoff的corner,然后重點聊一聊RC corner。
其中的Operating Mode,可以分為Function Mode和Test Mode。對于大型的SoC芯片工作模式多種多樣,特別是牽涉到不同子系統(tǒng)...
什么是DPT中的Odd Cycle問題?它會有什么問題?該如何解決?
如果在一個版圖上存在著奇數(shù)個Shape圍成的圈,且相鄰的Shape之間的距離小于DPT Spacing(這就意味著它們需要涂上不同的Color),那么就...
磁盤的分區(qū) 裝過系統(tǒng)的人都知道必須要分區(qū)后才能安裝系統(tǒng),形象點的說比如windows里C:,D:之類的東西;如果你要問硬盤為什么要分區(qū),我也說不上來很嚴(yán)...
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