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mems壓力傳感器+關注1人關注

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  MEMS壓力傳感器是一種薄膜元件,受到壓力時變形??梢岳脩儍x(壓阻型感測)來測量這種形變,也可以通過電容感測兩個面之間距離的變化來加以測量。這兩種方法都很流行,輪胎壓力監測系統使用比較結實的壓阻方法。

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