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MEMS技術是一種制造技術，MEMS技術把電子和機械特性結合了起來，可以同時執行物理、化學、生物等方面的功能，因為它能同時發生化學反應和電作用。它實質上是終極的片上系統，是科學和技術的終極融合，而且生物也可以與之兼容。