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MEMS振蕩器是指通過微機電系統制作出的一種可編程的硅振蕩器，屬于我們通常所說的有源晶振。它是對傳統石英晶振產品的一個升級更新換代，防震效果是前者的25倍，具有不受振動影響、不易碎的特點。MEMS振蕩器的溫度穩定性也比傳統晶振更好，不受環境溫度高低變化的影響。