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射頻微等離子體的特點分析

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2018-12-20 11:23:52969

中微自研5納米等離子體刻蝕機經臺積電驗證

中微半導體設備(上海)有限公司自主研制的5納米等離子體刻蝕機經臺積電驗證,性能優良,將用于全球首條5納米制程生產線。
2018-12-29 08:48:144742

區塊鏈等離子體研究指導框架

然而,自從我開始自己閱讀關于等離子體的在線資源以來,我身邊來自cryptoeconomics Lab的專業等離子體研究人員為我提供了一種非常接近的方式,讓完全的初學者可以從頭開始學習等離子體。他們給我提供了一大堆文章的參考資料,我們可以按照正確的順序閱讀。
2019-01-16 11:19:46673

低溫等離子體發生器的應用資料說明

等離子體可以通過多種方式來產生,常見的方法主要包括:熱電離法/射線輻照法/光電離法/激波等離子法/激光等離子法/氣體放電法等。氣體放電是指氣體在電場的作用下被擊穿引起的導電現象,而低溫等離子體的產生方式主要是通過氣體放電來實現的。下面主要介紹通過氣體放電來產生低溫等離子體的各種方式
2019-04-22 08:00:0035

高頻高壓等離子體發生過程與系統設計

針對傳統直流等離子體發生器電源效率不高、驅動管熱損耗大等問題,設計了一個高效率低損耗的高頻高壓等離子體發生器。該系統通過移相全橋控制電路進行PWM方波控制,在功率晶體管驅動下,經高頻諧振升壓電路
2019-09-09 17:45:515521

PCB電路板等離子體處理的方法介紹

等離子體,是指像紫色光、霓虹燈光一樣的光,也有稱其為抄板物質的第四相態。等離子體相態是由于原子中激化的電子和分子無序運動的狀態,所以具有相當高的能量。
2019-09-10 14:55:352608

射頻等離子體的結構有什么特點

在之前的文章中,對射頻大氣壓輝光放電已經有所介紹,那么,如果在射頻放電中,將放電的間隙進一步縮小到微等離子體尺度內,即為1mm左右,乃至到了幾百微米的量級,射頻等離子體又會出現哪一些新的特點呢?接下來我們與大家共同探討。
2020-11-16 10:38:000

三維狄拉克等離子體激元助力實現新的納米光電器件

等離子體激元是指傳統金屬和半導體的電子量子化集體振蕩,一直以來吸引著人們對其在傳感、快電子學和太陽能電池技術中應用的興趣。等離子體激元也可存在于被稱為狄拉克(Dirac)材料的奇異固體中。
2020-12-26 00:38:00480

射頻離子推力器束流特性及數值模擬綜述

為了分析射頻離子推力器東流特性,基于二維流體模型對自硏的llcm射頻離子推力器開展放電室等離子體數值模擬,獲得給定電氣參數下離子密度、電子溫度等關鍵參數的分布特性;硏究了等離子體參教和柬流大小與射頻
2021-05-31 15:08:334

等離子體位移快控電源設計

等離子體位移快控電源設計(現代電源技術基礎下載)-等離子體位移快控電源設計等離子體位移快控電源設計
2021-09-29 17:45:395

等離子體摻雜(Plasma Doping)

通常,用射頻電源產生高濃度等離子體電離摻雜氣體,而用偏置電源加速離子去“轟擊”圓片表面。最常用的 PLAD 摻雜氣體為 B2H6,用于硼摻雜。對于需要非常高劑量的圓片摻雜的產品,由于離子注入機需要“點”式掃描注入,即使在最高的離子束流下,工藝實施時間仍然較長,產出效率低。
2022-11-01 10:14:003045

等離子體工藝回顧

在ICP反應室中加入射頻偏壓系統就可以產生自偏壓并控制離子的轟擊能量。由于在高密度等離子體中的離子轟擊會產生大量的熱能,因此必須有一個背面気氣冷卻系統和靜電夾盤控制晶圓的溫度。
2023-01-15 14:45:431066

低溫等離子體技術的應用

近年來,等離子體技術的使用范圍正在不斷擴大。在半導體制造、殺菌消毒、醫療前線等諸多領域,利用等離子體特性的應用不斷壯大。CeraPlas? 是TDK 開發的等離子體發生器,與傳統產品相比,它可以在緊湊的封裝中產生低溫等離子體*1,并具有更低的功耗。它有望促進各種設備的開發,使離子體技術更容易使用。
2023-02-27 17:54:38746

真空等離子清洗機的制造商正在引入氧和氫等離子體來蝕刻石墨烯

等離子體和氫等離子體都可用于蝕刻石墨烯。兩種石墨烯氣體等離子刻蝕的基本原理是通過化學反應沿石墨烯的晶面進行刻蝕。不同的是,氧等離子體攻擊碳碳鍵后形成一氧化碳、二氧化碳等揮發性氣體,而氫等離子體則形成甲烷氣體并與之形成碳氫鍵。
2022-06-21 14:32:25391

低溫等離子體表面處理設備在各種材料領域的應用

等離子體清洗技術自問世以來,隨著電子等行業的快速發展,其應用范圍逐漸擴大,用于活化蝕刻和等離子體清洗,以提高膠粘劑的粘接性能。
2022-07-04 16:09:18433

常壓等離子體清洗技術的常見問題

金徠常壓等離子體技術與其他表面處理方法相比有哪些主要優點? 與其他表面活化方法相比,最主要優點是具有高效率。 等離子體系統能夠非常容易地集成到現有生產線里,它環保,節約空間,還具有低運行成本的優勢。
2022-10-26 09:48:12335

等離子體蝕刻率的限制

隨著集成電路互連線的寬度和間距接近3pm,鋁和鋁合金的等離子體蝕刻變得更有必要。為了防止蝕刻掩模下的橫向蝕刻,我們需要一個側壁鈍化機制。盡管AlCl和AlBr都具有可觀的蒸氣壓,但大多數鋁蝕刻的研究
2023-06-27 13:24:11318

等離子體清洗工藝的關鍵技術 等離子體清洗在封裝生產中的應用

等離子體工藝是干法清洗應用中的重要部分,隨著微電子技術的發展,等離子體清洗的優勢越來越明顯。文章介紹了等離子體清洗的特點和應用,討論了它的清洗原理和優化設計方法。最后分析等離子體清洗工藝的關鍵技術及解決方法。
2023-10-18 17:42:36447

無標記等離子體納米成像新技術

? 一種使用等離子體激元的新型成像技術能夠以增強的靈敏度觀察納米顆粒。休斯頓大學納米生物光子學實驗室的石偉川教授和他的同事正在研究納米材料和設備在生物醫學、能源和環境方面的應用。該小組利用等離子體
2023-11-27 06:35:23121

ATA-7030高壓放大器在等離子體實驗中的應用有哪些

高壓放大器在等離子體實驗中有多種重要應用。等離子體是一種帶電粒子與電中性粒子混合的物質,其具有多種獨特的物理性質,因此在許多領域具有廣泛的應用,例如聚變能源、等離子體醫學、材料加工等。下面安泰電子將介紹高壓放大器在等離子體實驗中的應用。
2023-11-27 17:40:00189

掀起神秘第四態的面紗!——等離子體羽流成像

01、重點和難點 等離子體通常被認為是物質的第四態,除了固體、液體和氣體之外的狀態。等離子體是一種高能量狀態的物質,其中原子或分子中的電子被從它們的原子核中解離,并且在整個系統中自由移動。這種狀態
2023-12-26 08:26:29209

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