ITO導電玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎上，利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫（俗稱ITO）膜加工制作成的。液晶顯示器專用ITO導電玻璃，還會在鍍ITO層之前，鍍上一層二氧化硅阻擋層，以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內液晶里擴散。高檔液晶顯示器專用ITO玻璃在濺鍍ITO層之前基片玻璃還要進行拋光處理，以得到更均勻的顯示控制。液晶顯示器專用ITO玻璃基板一般屬超浮法玻璃，所有的鍍膜面為玻璃的浮法錫面。因此，最終的液晶顯示器都會沿浮法方向，規律的出現波紋不平整情況。

在濺鍍ITO層時，不同的靶材與玻璃間，在不同的溫度和運動方式下，所得到的ITO層會有不同的特性。一些廠家的玻璃ITO層常常表面光潔度要低一些，更容易出現“麻點”現象；有些廠家的玻璃ITO層會出現高蝕間隔帶，ITO層在蝕刻時，更容易出現直線放射型的缺劃或電阻偏高帶；另一些廠家的玻璃ITO層則會出現微晶溝縫。

ITO導電層的特性：

ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下，氧化銦透過率高，氧化錫導電能力強，液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過率的導電玻璃。由于ITO具有很強的吸水性，所以會吸收空氣中的水份和二氧化碳并產生化學反應而變質，俗稱“霉變”，因此在存放時要防潮。

ITO層在活性正價離子溶液中易產生離子置換反應，形成其它導電和透過率不佳的反應物質，所以在加工過程中，盡量避免長時間放在活性正價離子溶液中。

ITO層由很多細小的晶粒組成，晶粒在加溫過程中會裂變變小，從而增加更多晶界，電子突破晶界時會損耗一定的能量，所以ITO導電玻璃的ITO層在600度以下會隨著溫度的升高，電阻也增大。

ITO導電玻璃的分類：

ITO導電玻璃按電阻分，分為高電阻玻璃（電阻在150~500奧姆）、普通玻璃（電阻在60~150奧姆）、低電阻玻璃（電阻小于60奧姆）。高電阻玻璃一般用于靜電防護、觸控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN類液晶顯示器和電子抗干擾；低電阻玻璃一般用于STN液晶顯示器和透明線路板。

ITO導電玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等規格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等規格，厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶顯示器產品。

ITO導電玻璃按平整度分，分為拋光玻璃和普通玻璃。

影響ITO玻璃性能的主要參數：

長度、寬度、厚度及允差（±0.20）

垂直度（≤0.10%）

翹曲度（厚度0.7mm以上≤0.10%，厚度0.55mm以下≤0.15%）

微觀波紋度

倒邊

C倒邊（0.05mm≤寬度≤0.40mm）

R倒邊（0.20mm≤寬度≤1.00mm，曲率半徑≤50mm）

倒角（浮法方向2.0mmX5.0mm；其余1.5mmx1.5mm）

SIO2阻擋層厚度（350埃±50埃，550nm透過率≥90%）

ITO層光學、電學、蝕刻性能（蝕刻液：600C 37%HCL:H267%HNO3=50:50:3）：見表1-1。

表1-1

化學穩定性：

耐堿為浸入600C、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。

耐酸為浸入250C、濃度為6%鹽酸溶液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。

耐溶劑為在250C、丙酮、無水乙醇或100份去離子水加3分EC101配制成的清洗液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。

附著力：在膠帶貼附在膜層表面并迅速撕下，膜層無損傷；或連撕三次后，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。

熱穩定性：在3000C的空氣中，加熱30分鐘后，ITO導電膜方塊電阻值應不大于原方塊電阻的300%。

外觀質量：

裂紋：不允許。

粘附物：包括塵粒、玻璃碎等凸起物，TN型ITO導電玻璃鍍膜面不允許有不可去除的高度超過0.1mm的粘附物；STN型ITO導電玻璃鍍膜面不允許有不可去除的高度超過0.05mm的粘附物。

沾污：不可有不溶于水或一般清洗劑無法除去的沾污。

崩邊：長X寬≤2.0mmx1.0mm；深度不超過玻璃基片厚度的50%；總長度≤總邊長的5%。

劃痕：見表1-2。表1-2

玻璃體線狀缺陷(寬度W)：包括玻筋、光學變形見表1-4。表1-4

膜層點狀缺陷：SIO2阻擋層和ITO導電層的點狀缺陷包括針孔、空洞、顆粒等，點狀缺陷的直徑定義為：d=(缺陷長+缺陷寬)/2。見表1-5。表1-5

ITO導電玻璃的工廠自適應測試方法及判定標準：

尺寸：

A、測試方法：用直尺和游標卡尺測量待測玻璃原片的長度、寬度、厚度。

B、判定標準：測量結果在供貨商所提供的參數范圍之內為合格。

面電阻:

A、測試方法：把待測試玻璃整個區域做為測試區域，然后測試區域分成九等份后再用四探針測試儀分別測試各區域的面電阻。

B、判定標準：根據測試結果計算出電阻平均值及電阻資料分散值，結果在要求范圍內既是合格。

ITO層溫度性能

A、測試方法：把待測玻璃原片在3000C的空氣中，加熱30分鐘，測試其加溫前后的同一點面電阻阻值。

B、判定標準：ITO導電膜方塊電阻值應不大于原方塊電阻的300%為合格。

蝕刻性能：

A、測試方法：把待測玻璃原片放入生產線所用的蝕刻液中測試其蝕刻完全的時間。

B、判定標準：蝕刻完全的時間值小于生產工藝所設定時間的一半值為合格。

或按表1-1蝕刻性能指針檢測。

ITO層耐堿性能

A、測試方法：把待測玻璃原片放在600C、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后，測試其浸泡前后的同一點面電阻阻值。

B、判定標準：ITO層方塊電阻變化值不超過10%為合格。

光電性能與可靠性：

A、測試方法：把待測玻璃與現生產用玻璃按現生產工藝參數，選擇一型號制作成成品并測試其光電與可靠性性能；

B、判定標準：光電性能與可靠性測試結果與現生產用玻璃結果相當，并在測試產品型號要求范圍之內。

ITO導電玻璃的選用規則：

模數在240以上的產品，一般可選用供貨商B級品玻璃；

模數在40模以上，240模以下的產品，一般選用普通A級品玻璃；

模數在40模以下的產品，STN產品，一般選用低電阻拋光玻璃。

COG產品，一般選用15奧姆拋光玻璃。附：工廠ITO玻璃參考選用原則：

6、ITO導電玻璃的使用方法：

l          任何時候都不容許迭放；

l          除規定外，一般要求豎向放置；平放操作時，盡量保持ITO面朝下；厚度在0.55mm以下的玻璃只能豎向放置；

l          取放時只能接觸四邊，不能接觸導電玻璃ITO表面；

l          輕拿輕放，不能與其它治具和機器碰撞；

l          如果要長時間存放，一定要注意防潮，以免影響玻璃的電阻和透過率；

l          對于大面積和長條形玻璃，在設計排版時要考慮玻璃基片的浮法方向。

7、ITO導電玻璃的貯存及搬運方法：

ITO導電玻璃的貯存方法：

ITO導電玻璃應貯存在室溫條件下，濕度在65%以下干燥保存；貯放時玻璃保持豎向放置，玻璃間堆放不可超過二層，木箱裝ITO導電玻璃貨物堆放不可超過五層。紙箱裝貨ITO導電玻璃貨物，原則上不能堆放。

ITO導電玻璃搬運方法：

易碎品，小心輕放，保持搬運過程中的穩定性，搬運時層高不得超過三層。